Emc体育全站金融界2024年7月2日消息，天眼查知识产权信息显示，安集微电子科技（上海）股份有限公司申请一项名为“一种用于化学抛光系统的混液装置及一种化学抛光系统“，公开号CN9.6，申请日期为2022年12月Emc体育全站。
专利摘要显示Emc体育全站Emc体育全站，本发明提供了一种用于化学抛光系统的中的微型混液装置，包括：流量，微型混液器和管路，所述流量通过所述管路与所述微型混液器相连，所述流量用于控制液体进入所述微型混液器的流量，所述微型混液器用于混合液体Emc体育全站。采用上述技术方案后，通过混液装置实现实时改变清洗剂的浓度，在保证抛光垫清洗效果的同时实现更加宽泛的兼容度Emc体育全站，适应不同的生产需求。
